LCD正型光致抗蚀剂感光树脂的研制

摘要：

本文研究了液晶显示器件(LCD)正型光致抗蚀剂用感光树脂(PAC)所需接枝母体和2,1,5-重氮萘醌磺酰氯(NDQ)对正型光致抗蚀剂应用性能的影响.结果表明:不同的接枝母体,对正型光致抗蚀剂的分辨率、抗碱性、感光速度有一定影响;NDQ导入率的提高,导致PAC的抑溶效应增大;PAC与NDQ混合使用在特定条件下可以提高正型光致抗蚀剂的感光速度.

关键词：正型光致抗蚀剂、感光树脂、液晶显示器件

所属期刊栏目：33

分类号：TQ57

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：58-59