10.3969/j.issn.1007-1865.2006.06.023
LCD正型光致抗蚀剂感光树脂的研制
本文研究了液晶显示器件(LCD)正型光致抗蚀剂用感光树脂(PAC)所需接枝母体和2,1,5-重氮萘醌磺酰氯(NDQ)对正型光致抗蚀剂应用性能的影响.结果表明:不同的接枝母体,对正型光致抗蚀剂的分辨率、抗碱性、感光速度有一定影响;NDQ导入率的提高,导致PAC的抑溶效应增大;PAC与NDQ混合使用在特定条件下可以提高正型光致抗蚀剂的感光速度.
正型光致抗蚀剂、感光树脂、液晶显示器件
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TQ57
2006-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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