氧化铟的制备及制备条件对其结构与性质的影响

摘要：

介绍了六种氧化铟的制备方法,其中以铟的气相沉积法和直流磁控溅射法制备氧化铟具有较大的优势,这两种方法工艺和技术也比较成熟.此外还介绍了制备条件对氧化铟的微观结构和性质的影响,以及根据对制备参数分析确定最佳制备条件,制备条件在氧化铟的制备过程中起着非常关键的作用.

关键词：氧化铟、制备、结构、性质

所属期刊栏目：30

分类号：TQ2(基本有机化学工业)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：15-18