氮化硅陶瓷球研磨抛光技术研究进展

摘要：

氮化硅陶瓷球是重大装备中轴承的关键基础元件,球体的超精密研磨抛光质量是影响轴承性能与寿命的重要因素.本文从加工方法的角度,总结了陶瓷球研磨抛光技术的研究进展,对不同的陶瓷球超精密复合抛光方法进行了比较分析,并提出了一种新型抛光方法,即集群磁流变抛光陶瓷球的方法.该方法初步测试显示,经3 h的抛光,氮化硅陶瓷球的表面粗糙度Ra由50 nm下降到5 nm,球度达到0.11～0.22μm.

关键词：氮化硅陶瓷球、研磨、复合加工、集群磁流变、抛光

所属期刊栏目：35

分类号：TH709(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375097;广东省自然科学基金资助重点项目2015A030311044;广东省科技计划项目2016A010102014

在线出版日期：2019-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：18-23,30