超精密磁流变复合抛光技术研究进展

摘要：

对超精密磁流变复合抛光技术的国内外研究进展进行了评述，介绍了当前主要应用的几种超精密磁流变复合抛光技术的加工原理和发展现状。重点介绍了磁流变射流复合抛光、超声波磁流变复合抛光、化学机械磁流变复合抛光以及集群磁流变复合抛光的加工技术内涵，从加工效率、加工表面均匀性、加工精度、加工适合的材料与形状等方面对上述几类超精密磁流变复合抛光方法进行比较和评述。最后对超光滑无损伤超精密磁流变抛光技术的发展方向进行了预测。

关键词：超精密、加工、磁流变、复合抛光、技术发展

所属期刊栏目：33

分类号：TH709(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375097；广东省自然科学基金重点项目2015A030311044；高等学校博士学科点专项科研基金20134420110001

在线出版日期：2016-12-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33