薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制

摘要：

针对薄膜透气性测试气体透过量、气体渗透系数受环境温度影响较大的问题,综合运用了半导体制冷技术以及具有高性能模拟特性和数字处理能力并集成了高性能外设的新型SoC模拟信号处理单片机MSC1210的PID恒温控制为该测试提供恒温环境,有利于提高测试的准确度.

关键词：薄膜透气性测试、半导体制冷、PID恒温控制、单片机MSC1210

所属期刊栏目：25

分类号：TP273+.5(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72