电子散斑干涉术

摘要：

简要介绍电子散斑干涉计量技术的实验系统组成、实验方法以及面内位移、离面位移的测量原理,并讨论了散斑的大小对测量系统的影响.

关键词：散斑、电子散斑干涉计量术、面内位移、离面位移

所属期刊栏目：19

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东工业大学校科研和教改项目XZ200102;广东省重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-13,24