10.3969/j.issn.1007-7162.1999.03.019
SOI技术及其最新进展
介绍了近年来实现三维集成电路中的关键技术--SOI技术的各类方法,重点讨论了各种SOI技术的最新进展.
SOI、工艺、单晶硅
16
TN43(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
89-94
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10.3969/j.issn.1007-7162.1999.03.019
SOI、工艺、单晶硅
16
TN43(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
89-94
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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