10.3969/j.issn.1007-7162.1999.02.002
用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件.
计算机测量系统、β射线测厚、薄膜厚度
16
TP273(自动化技术及设备)
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
5-8
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10.3969/j.issn.1007-7162.1999.02.002
计算机测量系统、β射线测厚、薄膜厚度
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TP273(自动化技术及设备)
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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