光楔分光中波红外Fizeau型干涉仪光学系统设计

摘要：

针对中波红外波段胶合立方型分束镜分光局限的问题,本文提出基于光楔分光的中波红外Fizeau干涉仪光学设计方案.在3.39 μm工作波长下,为降低干涉系统回程误差,提升测量准确度,采用了两次反射折叠准直光路结构,既保证良好的准直波前,同时优化设计光楔兼顾干涉成像波前.设计采用ZnSe、CaF2 材料,干涉仪准直镜为单片平凸非球面结构,成像镜由双分离式球面镜构成,经蒙特卡罗模拟公差分析,准直镜0.1°视场内准直波前PV优于λ/4,归一化出射孔径内角像差优于3.01×10?5 rad;干涉成像光路归一化视场成像波前PV优于λ/5,在25 lp/mm处MTF值优于0.38,干涉系统最大成像畸变优于0.11％;在标准面0°视场放置,被测表面倾斜0.05°内干涉系统回程误差小于λ/50.基于光楔分光的中波红外Fizeau干涉仪为中波红外干涉仪光学系统设计提供了新的思路.

关键词：中波红外干涉仪、光楔分光、像差理论、光学设计

所属期刊栏目：50

分类号：O439(光学)

资助基金：中国科学院战略性先导科技专项XDC07040300

在线出版日期：2023-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：90-101