微结构传感器的激光制造技术研究进展

摘要：

微结构传感器是具有以微尺度结构作为敏感单元,能将外界物理、化学、生物信号转化为电信号的传感器,已广泛应用于智能机器人、健康监控、虚拟电子等领域.目前,微结构传感器的制造方法主要有激光制造技术、MEMS技术和3D打印技术等.激光制造技术是将高能光子束聚焦到被加工物上,使激光与物质相互作用的一种绿色加工方法,主要包括激光烧蚀、激光直写、激光诱导和激光-倒模复合加工等,具有非接触式加工、无掩膜版、可定制化制造等优势,通过优化激光加工工艺参数,可以实现不同尺寸和形状微结构的高效低成本制造.本文对微结构的类型、功能及制造技术进行了概述,同时对激光制造技术制备的微结构传感器进行了归纳分类,详细分析了生物电传感器、温度传感器以及压力传感器的制造技术及应用,最后对微结构传感器激光制造技术的发展趋势进行了总结与展望.

关键词：激光制造、微结构、生物电传感器、温度传感器、压力传感器

所属期刊栏目：50

分类号：TN249;TN304.12(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目;流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金课题资助项目

在线出版日期：2023-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共17页

页码：104-120