基于飞秒激光的高速双光子刻写技术

摘要：

基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点.随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间过长不仅造成加工结构的不稳定,更是严重阻碍这些重要三维器件的进一步推广应用.本文以TPP加工效率提升方面的研究工作为主线,分别从单光束刻写、并行多光束刻写、面曝光和体曝光四个方式进行总结与对比,阐述相应的光学系统设计、刻写策略、刻写精度与通量等方面的研究情况,总结各种技术的优势与劣势,同时展望未来发展趋势.

关键词：飞秒激光直写、双光子光刻、单光束扫描、多焦点并行、面曝光、体曝光

所属期刊栏目：50

分类号：O646.5(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;浙江省自然科学基金重大资助项目;之江实验室重大资助项目;浙江省自然科学基金青年基金资助项目;浙江省自然科学基金青年基金资助项目;中国博士后科学基金面上资助项目

在线出版日期：2023-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共23页

页码：35-57