基于并联法布里-珀罗干涉仪的高灵敏度光纤气压传感器

摘要：

本文提出并制备了一个基于游标效应的高灵敏度光纤气压传感器.该传感器包含两个并联的法布里-珀罗干涉仪(FPI),它们均由单模光纤和一小截毛细管熔接构成,分别作为传感腔和参考腔,且其中传感腔的侧面刻蚀微通道,以便于待测气体进入.俩干涉仪间较小的光程差导致传感器产生具有游标效应的叠加反射光谱,气压灵敏度得到极大的提高,达到～64 pm/kPa,该值是单一FPI的～16倍.另外,实验结果显示,该传感器对温度不敏感,从而减少了环境温度对气压测量结果的影响.结构结实、气压灵敏度高等优点,预示着该传感器在工业生产、气体检测等领域具有广阔的应用前景.

关键词：光纤传感、法布里-珀罗干涉仪、游标效应、气压

所属期刊栏目：49

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：浙江省自然科学基金资助项目;教育部重点实验室开放基金

在线出版日期：2022-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：46-54