大矢高凸柱面的超精密车削轨迹计算方法研究

摘要：

阵列微结构光学元件广泛用于各种光束匀化场合,而常规的加工方法难以满足大矢高凸柱面阵列的精度要求.本文采用超精密车削成型法,分析了影响金刚石车削的主要因素,设计了顺序搜索法和二分搜索法寻找车削轨迹,并对比了两种方法的优缺点,结合Matlab软件用二分搜索法成功找到车削轨迹及数控程序,并在超精密车床上进行了车削实验,得到了表面轮廓误差在135 nm的大矢高阵列微结构.证明了二分搜索法能够准确获得车削轨迹,并且此法可同时适用于球面轮廓和非球面轮廓,具有重要的工程应用价值.

关键词：大矢高阵列微结构、凸柱面、超精密车削、半径补偿

所属期刊栏目：48

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2021-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：49-55