基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法研究

摘要：

针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法.通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用两束无衍射光干涉生成莫尔条纹.设计了无衍射光莫尔条纹三自由度测量光路,建立了三自由度运动误差数学模型,并用几何分析法将三种运动误差(偏摆角、滚转角和俯仰角)进行分离.利用旋转台模拟不同大小的三自由度运动误差,带有误差信息的无衍射光和莫尔条纹图案分别由CCD1和CCD2接收.实验结果表明,通过光斑中心偏移量计算出的实际运动误差值接近理论值,测量误差不超过0.0104°,验证了无衍射光莫尔条纹三自由度测量系统的可行性与正确性.

关键词：三自由度测量、无衍射光、莫尔条纹、液晶空间光调制器

所属期刊栏目：47

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助课题;湖北省教育厅重点项目;太阳能高效利用湖北协同创新中心基金项目

在线出版日期：2020-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：60-67