变倾角移相斜入射动态干涉仪

摘要：

为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案.基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量.在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm.实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围.

关键词：干涉测量、斜入射、动态干涉仪、表面平整度

所属期刊栏目：46

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目U1731115

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：38-46