电荷累加型TDICMOS探测器测试方法研究

摘要：

随着航天遥感领域对分辨率、高速传输、低功耗方面需求的提高,基于电荷累加的TDICMOS探测器应运而生.该探测器无论在工艺上还是探测器结构上均与TDICCD和传统数字累加的CMOS器件有着本质的不同.因此,许多关于探测器性能参数的测试方法无法适用于电荷累加的TDICMOS.本文基于电荷累加TDICMOS的自身特性,先后提出了关于电荷-DN转换因子、满阱电荷、电荷转移效率、读出噪声等参数的新测试方法,同时搭建TDICMOS测试系统进行实验验证.实验证明了上述测试方法的正确性和工程可实现性,为今后TDICMOS工程应用提供了重要依据.

关键词：TDICMOS、电荷-DN转换因子、转移效率、满阱电荷、读出噪声

所属期刊栏目：46

分类号：TN401(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点研发计划地球观测与导航重点专项2016YFB0500802

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：31-37