大口径光学元件瞬态波前检测

摘要：

为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法.该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比度良好的干涉图后,利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位,实现瞬态波前动态测量.实验光路总长近20 m,极易受气流的影响,且由于气流干扰随时间变化,该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置.测试结果与SID4波前传感器比较,波前均方根(RMS)小于1/50 λ,可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测.

关键词：光学测量、点衍射干涉仪、大口径、瞬态波前

所属期刊栏目：45

分类号：TH74;O436.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金U1231111;江苏省自然科学基金BK2012802资助项目Supproted by National Natural Science Foundation of ChinaU1231111;National Natural Science Foundation of JiangsuBK2012802

在线出版日期：2018-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：56-62