10.3969/j.issn.1003-501X.2017.12.008
皮秒激光微制造As2Se3玻璃红外增透性表面
采用紫外皮秒激光在As2Se3玻璃表面以线扫描形式快速制备大面积周期性点阵式增透微结构,获得了红外透光性能提高的硫系玻璃样品.研究确定了As2Se3玻璃的激光刻蚀阈值,并研究设计了合适线扫描工艺方法.所制样品相对于原样在波长11.0μm~12.4μm范围内,透过率平均提高10.0%;波长13.0μm~14.2μm范围内,透过率平均提高5.2%.激光扫描制备方法没有破坏样品表面原有的浸润性,整个制备过程均在空气开放环境下进行,成本低,工艺可控性强,效率高,制备8 mm×8 mm的表面微结构,仅用时3.65 s,且表面微结构单元尺寸及间距可按材料应用需求调控.分析表明,当激光能量较低时,对该硫系玻璃的去除以"冷加工"为主,不会有明显的热效应,得到微结构的硫系玻璃表面元素组成未发生改变;激光能量较高时,会存在一定的热效应,使得刻蚀点出现熔融态,在微坑边缘出现凸起或翻边.
皮秒激光、As2Se3硫系玻璃、表面微结构、增透、接触角
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金资助项目51575013,51275011
2018-01-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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