紫外激光器及其在微加工中的应用

摘要：

紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质.近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注.紫外激光在微加工过程中对材料尺寸形状要求小,加工过程灵活可变,产生的热影响区小,能够实现精密复杂结构的加工.本文介绍了紫外激光器的发展过程,并对目前主要用于微加工的两类紫外激光器:准分子激光器和全固态激光器的工作原理和技术特点进行了简要的概述.重点讨论紫外激光在半导体、光学元件和聚合物等领域的技术发展和应用现状,并进一步对未来研究方向进行预测和展望.

关键词：紫外激光器、激光微加工、半导体材料、微光学元件、聚合物

所属期刊栏目：44

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划"增材制造与激光制造"重点专项2016YFB1102503;科技部973计划2015CB059900;北京市自然科学基金39022303139022302;国家自然科学基金51705013

在线出版日期：2018-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1169-1179