一种提高光学干涉系统稳定性的装置

摘要：

基于光学干涉的测量方法,通常都有高精度、高灵敏度的特点,信号易受环境干扰而不稳定,使用时须远离振源.若要将光学干涉系统用于在线检测,必须提高其抗干扰性.本文在以前的工作基础上,从干涉光路的实现方式着手,制作了一套一体化的迈克尔逊干涉装置,可用于多层光学平片的厚度检测.该装置通过巧妙的设计和高精密加工,使整个光路结构为一整体,避免了测量过程中外界干扰的影响.通过与光纤式迈克尔逊干涉系统做实验对比,验证了该装置在测试过程中有良好的稳定性和抗干扰性.最后采用宽带光源干涉的方法对多层光学平片的厚度进行测量,验证了该装置用于精密在线测量的可行性.

关键词：光学器件、在线检测、光学干涉、抗干扰、厚度检测

所属期刊栏目：44

分类号：O436.1(光学)

在线出版日期：2018-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1089-1093