凸二次曲面的工艺球面补偿检测

摘要：

在非球面的检测中，工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性，本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据，推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件，并采用有限距离正面补偿检测的方法，对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定，所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测，而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度δPV=0.1598λ优于λ/6(λ=632.8 nm)，满足技术指标。

关键词：光学检测、瑞利判据、凸二次曲面、像差理论

所属期刊栏目：43

分类号：O435.2;TN247(光学)

在线出版日期：2016-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：56-61