缓冲层和保护层提高激光增透膜损伤阈值

摘要：

为提高离子束溅射制备1064 nm、532 nm双波长增透膜抗激光损伤阈值，分别在靠近基板、空气侧加镀一定厚度二氧化硅膜层，研究缓冲层、保护层对增透膜抗激光损伤阈值的影响。依据ISO21254-2损伤测试标准，测试不同膜系结构增透膜抗1064 nm波长激光损伤阈值。实验结果表明，二氧化硅缓冲层提高增透膜抗激光损伤阈值约65.4%；二氧化硅保护层提高增透膜抗激光损伤阈值约66.7%；同时加镀缓冲层、保护层增透膜抗激光损伤阈值显著提高约119%。

关键词：缓冲层、保护层、激光增透膜、损伤阈值

所属期刊栏目：43

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2016-08-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：89-94