10.3969/j.issn.1003-501X.2016.07.014
柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测方法
针对空间应用的柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测要求,本文提出以干涉测量法为基础,采用光学聚酰亚胺薄膜制备所用基板的反射波前数据、薄膜未剥离成膜基板时上表面反射波前数据以及薄膜剥离基板后的透射波前数据有效测量此类柔性薄膜折射率均匀性。将棱镜耦合仪逐点测量数据作为对比项,实验结果表明,所提出的方法能高效可靠地对柔性薄膜全口径进行折射率均匀性检测。
柔性光学聚酰亚胺薄膜、折射率均匀性、波面
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家863高技术项目支持课题
2016-08-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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