高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计

摘要：

本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发，推导了系统分辨力的计算公式，得出系统优化设计的新方法。得出以下结论：系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力；狭缝宽度的选择要综合考虑入射光的能量和分辨力的大小；狭缝宽度对系统分辨力的影响远远大于狭缝高度和凹面光栅的理论分辨力的影响；提出了基片尺寸大小的计算公式和优化设计的方法。本文的理论计算值与实验结果相一致。

关键词：凹面光栅、光谱仪、分辨力、像差

分类号：TN247;TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61378060，61205156；国家重大科学仪器设备开发专项2012YQ170004；上海市教育委员会科研创新项目14YZ095

在线出版日期：2016-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7