90 nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

摘要：

本文基于数值孔径为0.75，满足90 nm技术节点的DUV光刻物镜系统，采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系，分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响并与补偿前系统进行对比。结果表明：加边缘补偿力后，透镜非球面变形均方根最大值由50.877 nm减小至26.675 nm，但补偿后系统波像差均方根最大值由0.041λ增大到0.055λ。由此可以得出结论：该补偿方式能够有效补偿透镜表面非球面变形，但补偿后系统波像差反而增大，所以要降低系统的波像差，不仅需要减小透镜变形，同时还需考虑各透镜变形之间的相互补偿作用。

关键词：深紫外、投影物镜、波像差、重力变形、有限元法

分类号：TB851(摄影技术)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02201-003；国家自然基金重点项目60938003；光电成像技术与系统教育部重点实验室开放课题2013OEIOF05。

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：71-76