基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析

摘要：

目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声，为了提高干涉检测精度，必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响，并分析了在一定环半径下，随着干涉腔长的增加，对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明，随着环形光源环半径的增加，干涉测量结果的系统误差增大，在同一环半径下，随着干涉腔长的增加，干涉测量的系统误差增大。

关键词：环形光源、相干噪声、误差分析

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61108045

在线出版日期：2015-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：84-88