金属-介质多层膜超衍射材料频谱滤波特性

摘要：

本文理论研究了金属-介质多层膜光学超衍射材料频谱滤波的物理机制。严格矢量分析光波在金属-介质多层膜中频谱耦合传输的带通行为规律，理论分析单元厚度、填充比、膜层材料虚部和Al/MgF2多层膜对数对空间频谱的带通窗口和透射振幅的影响因素。研究表明单元厚度和填充比主要影响空间频谱的带通窗口，膜层材料虚部和膜层对数主要影响空间频谱的透射振幅。该研究结果有望应用于超分辨成像光刻、表面等离子体结构照明、表层显微和生物传感等领域。

关键词：表面等离子体、倏逝波、多层膜

分类号：O484;O53(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61177013

在线出版日期：2014-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：89-94