润滑薄膜测量的双色光干涉强度调制技术

摘要：

光干涉技术是润滑薄膜厚度测量最有效的方法之一。双色光干涉法在保证较大膜厚测量范围及高测量分辨力的同时，避免了繁琐的干涉级次人工计数。传统的双色光干涉测量依赖于严格的静态标定和观测者。本文提出使用双色光干涉强度调制技术对微纳米润滑薄膜进行测量。通过干涉图像中红、绿分量强度值的线性叠加得到调制信号，根据信号特性分析得到特征位置膜厚，进而由干涉强度得到任一点膜厚。为验证所提出测量方法的正确，对静态球-盘赫兹接触表面间隙进行了测量，与经典理论有很好的一致性。结果表明：选用合适的红绿双色光波长，测量量程可达2μm。

关键词：双色光干涉、强度调制、润滑油膜、厚度测量

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目51275252；国家重点基础研究发展计划973项目2011CB706602

在线出版日期：2014-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：88-94