光栅刻划中工作台过冲现象的改善

摘要：

在分度运动控制系统中以 DMC2210控制卡为核心，采用光栅尺为分度运动反馈器件，实现了高精度的实时监测反馈。针对工作台“过冲”现象进行了两方面的分析优化：一方面，分析了步进电机减速方式对刻划效果的影响，通过分段减速初步改善了工作台“过冲”现象；另一方面，分析并模拟了弹簧(联接工作台和分度丝杠螺母)刚度对工作台“过冲”问题的影响，更换大刚度弹簧后，很大程度改善了工作台“过冲”现象。改进后对光栅刻线密度为79 g/mm的中阶梯光栅进行了多次刻划试验，计算的机器分度精度均在5 nm以内，选取其中一组较好的数据(机器分度精度为2.887 nm)与之前多次刻划试验中较好的一组数据(机器分度精度为7.759 nm)进行了比较，结果表明刻划机分度精度得到很大的提高。

关键词：光栅尺、过冲、弹簧刚度、分度精度

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61176085,11105149；国家科技支撑计划2011BAF02804；国家重大科学仪器设备开发专项2011YQ15004004

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：90-94