散斑相关法标定电涡流传感器电压输出曲线

摘要：

为了精确的测量电涡流传感器的距离-电压输出线性区间和线性位移精度，本文采用了显微散斑相关法对位移进行标定。首先，利用精度为5μm位移平台进行位移调节，得到位移和电涡流传感器输出电压的线性区间。然后，在线性区间内进行密集采样，通过显微照相系统采集散斑图，利用散斑相关法求出位移，得到更高精度的位移-电压曲线。分析了显微散斑照相的检测流程与检测精度；讨论了散斑尺寸对测量的影响。设计了测量光路参数：采用40×显微物镜配合20×读数显微镜可以实现64.5×的放大倍率。对40铬材料进行了位移-电压曲线标定实验，实验结果证明：本系统可以实现高精度的电涡流传感器位移标定，测量精度达到0.09μm，要实现更高精度的标定可以提高显微系统的放大倍率。

关键词：电涡流传感器、散斑相关、显微成像、线性区间

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61275009；国家科技支撑计划2007BA000013；高等学校博士学科点专项基金20110032120059

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21