数字光刻缩微投影系统物镜的设计

摘要：

针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统，提出并设计了一种适用于0.7XGA 型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构，得到数值孔径NA=0.1，放大倍率为-0.2558，分辨力达3.5μm，不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5，145 cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58，充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法，模拟加工装配了100组镜头，设定空间频率为145 cycles/mm时，90%的镜头FMTF>0.55，验证了加工装配实际可行。

关键词：数字光刻、缩微物镜、数字微反射镜、光学设计

分类号：TH702(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60977029；国家自然科学基金青年基金61107029

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：57-62