10.3969/j.issn.1003-501X.2013.07.007
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析
光刻投影物镜的透镜支撑形式决定透镜的面形精度,进而影响光学系统的成像质量。本设计为实现透镜面形精度优于5 nm的RMS值,提出一种三点挠性主支撑和六点弹片辅助支撑的支撑形式。综合考虑透镜自重、夹持力和热载荷对透镜面形影响,对支撑结构进行优化设计,并进行了仿真分析。仿真后的面形结果为:上表面面形PV 21.7 nm,RMS 4.49 nm;下表面面形PV 81.3 nm,RMS 3.63 nm。仿真结果显示:该种透镜的支撑结构可以满足光刻投影物镜的高精度面形指标要求。
光学器件、光刻投影物镜、支撑结构、结构优化、有限元
TH703(仪器、仪表)
国家重大专项基金资助项目2009ZX02205
2013-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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