优化型多扫描方式原子力显微镜的研制

摘要：

本文提出和发展了一种多扫描方式的新型原子力显微镜(AFM)技术及系统。该系统拥有三个不同的扫描器，以相互组合的方式实现三种不同的扫描方式，由管状压电陶瓷驱动的柔性结构扫描器，采用样品扫描方式，对于小尺寸样品能够提供高分辨率的快速扫描；由叠层式压电陶瓷驱动的扫描器，采用探针扫描方式，提供各类样品的大范围扫描；由步进电机驱动的扫描器，采用样品扫描方式，能够实现大尺寸样品的大范围扫描。三种方式的单幅图像扫描范围可分别达到4μm×4μm、20μm×20μm、40μm×40μm。实验结果表明，借助于上述多扫描方式及独特的结构设计，该 AFM 不仅具有分辨率高、扫描速度快、重复性好等优化性能，而且能同时实现各类尺寸样品的各种扫描范围的微纳米成像，具有更好的实用性，可望在微纳米技术领域获得广泛应用。

关键词：AFM、多扫描方式、光束偏转法、大尺寸样品、大扫描范围

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目光致表面弹性波的机理及激光驱动马达的新方法研究51077117；浙江省自然科学基金Z1110196

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20