光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制

摘要：

为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构.微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和.通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性.根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果.变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象.仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7 nm,标准差为2.2 nm.扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制.

关键词：宏微控制、最优积分滑模面、滑模控制:工件台

所属期刊栏目：38

分类号：TP273+.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技重大专项资助项目2009ZX02207

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：50-54