光谱共焦位移传感器的色散物镜设计

摘要：

光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点,传感器的关健部件是产生轴向色散的物镜.本文对传感器的工作原理进行了分析,推导了计算物镜光学参数的公式,并依据此公式计算结果设计物镜,得到了满足设计指标的物镜,且与理论计算相符.传感器的工作波长范围是500～700 nm,设计的色散物镜利用高色散玻璃和双胶合透镜达到了1 mm的量程,配以合适的光谱仪,传感器分辫率优于1 μm.物镜使用齐明透镜和双胶合透镜减小球差,使得各波长的最大球差约为0.6 μm,满足物镜精度要求.

关键词：位移传感器、光谱共焦、光学设计、色散镜头

所属期刊栏目：38

分类号：TP212;O439(自动化技术及设备)

资助基金：中国工程物理研究院发展基金资助项目K632-10-JF

在线出版日期：2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：131-135