补偿器法检测非球面过程中易出现的误区

摘要：

补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法.在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素.本文以一个1 m 口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法.最后,分别对300 mm、700 mm 口径非球面反射镜与本文1 m 非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后的检测结果失真,并验证了先判别后消除方法的可靠性.最后利用正确的方法,检测得到1 m口径非球面被测镜的RMS 面形误差为0.038 λ,满足指标要求.

关键词：光学检测、补偿器、非球面、Zernike多项式

所属期刊栏目：37

分类号：TH75;TN247(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院三期创新基金资助项目O65X32C060

在线出版日期：2011-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：116-121