莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用

摘要：

从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析.最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复频率相差很小的两光栅对准标记,将产生对位移具有高灵敏度特性的放大莫尔条纹,从而实现高精度光刻对准,并对采用该对准方法的光刻对准精度进行了简要分析.

关键词：莫尔条纹、光栅、调制规律、光刻对准

所属期刊栏目：37

分类号：N31(调查方法、工作方法)

资助基金：国家自然科学基金项目60706005

在线出版日期：2010-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：102-106