10.3969/j.issn.1003-501X.2010.04.009
一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法
针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高△v=200 GHz,△d≤13.37 nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法.该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件--未镀膜层固体腔(SiO_2)的高精度厚度检测.实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测.
梳状滤波器、固体腔厚度、高精度测量、滤光片设计、F-P法珀干涉
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O484.4:TN247(固体物理学)
2010-06-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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