微透镜列阵成像光刻调焦方法

摘要：

本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响,给出了系统离焦量的容差.同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像光刻系统调焦的新方法.并将基于该调焦方法的实验装置应用于微透镜列阵成像光刻系统,进行了光刻实验.实验表明,利用该方法时微透镜列阵成像光刻系统调焦,可得到接近微透镜列阵极限像质的光刻图形.

关键词：微纳光学、成像光刻、微透镜列阵、离焦

所属期刊栏目：37

分类号：O439(光学)

资助基金：863基金资助项目2007AA03Z332

在线出版日期：2010-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43