10.3969/j.issn.1003-501X.2010.02.014
标准硅球直径测量中的光路对准
针对标准单晶硅球直径精密测量的需要,本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上,根据建立的数学模型,对激光束斜入射标准板时产生的椭圆干涉图像进行了分析,并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行了研究.分析结果显示,在给定的实验条件下,当入射角为10~(-3) rad时,误差已达6.6nm.提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法,实验结果表明,此方法能够使光束入射角的调整优于10~(-5)rad,满足系统测量的要求.
光学测量、直径测量、干涉环、椭圆度、激光光束对准
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TB921;TH741.1(计量学)
国家科技支撑计划资助项目2006BAF06B06
2010-05-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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