微机械薄膜变形镜的闭环校正模型

摘要：

介绍了微机械薄膜变形镜(MMDM)面形影响函数的意义,并测量了Oko公司37通道MMDM的面形影响函数矩阵,实验验证了镜面形变和单个驱动电极电压平方之间的线性关系,分析了变形镜的校正能力,建立了自适应光学系统闭环校正的模型.搭建基于MMDM的自适应光学实验系统,采用人眼出射波前作为原始波前进行实验,结果表明,模型能快速有效的对动态畸变波前进行校正,为基于MMDM的自适应光学系统提供了算法支持.

关键词：自适应光学、微机械薄膜变形镜、面形影响函数、校正能力、校正模型

所属期刊栏目：36

分类号：TP273+.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划资助项目2006AA020804

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45