10.3969/j.issn.1003-501X.2008.10.019
集成光学非球面消球差双凸波导透镜的研制
针对微透镜制作采用的球透镜研磨,多组分玻璃基板离子交换,结晶化玻璃基板光热法,本文提出非球匠消球差双凸波导透镜设计、制备及参数测试方法.该方法根据集成光学原理,研制了一种非球面消球差双凸波哥透镜.该透镜数值孔径大,放大倍数高,接近衍射极限,采用光刻、复制工艺,结构简单,一致性好.实验结幂表明,NA=0.35,β=6.932,光强分布与理论值一致,达到设计要求.
集成光学、非球面消球差双凸波导透镜、钛扩散铌酸锂、质子交换、衍射极限
35
TN256(光电子技术、激光技术)
中国博士后科学基金资助项目2005038468
2009-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
98-101,115