多层介质高反射膜的散射特性研究

摘要：

为了研究多层介质高反射薄膜的散射特性减小光学薄膜的散射损耗,以多层光学薄膜矢量光散射理论为基础,利用光学薄膜的总散射损耗与光学薄膜双向反射分布函数的关系,研究了多层介质高反射薄膜分别在膜层界面粗糙度为完全相关和完全非相关模型下入射角和偏振状态对总散射损耗的影响,以及入射波长对总散射损耗的影响.理论研究结果表明,随着入射角的变化p偏振入射光引起的p偏振的总散射损耗强烈依赖于膜层界面粗糙度的相关特性,尤其是在布儒斯特角附近更为明显;此外,通过对介质高反射膜在两种不同模型下的总散射损耗随入射波长的变化与其反射率谱的比较发现,完全相关模型下的总散射损耗与反射率谱的变化趋势一致,完全非相关模型则恰好反之.

关键词：高反射膜、矢量光散射、总散射损耗、偏振、薄膜

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60771038

在线出版日期：2009-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-16