改进型PSD非线性误差分析及其应用研究

摘要：

阐述半导体光电位置敏感器件(PSD)的横向光电效应,改进型2D-PSD的结构、特点、工作原理,在此基础上,提出一种新的电桥理论分析2D-PSD的中心与边缘产生非线性及其误差的原因.采用高精度低温漂高输入阻抗的前置放大器,加法器、减法器、除法器等元器件设计了一种改进型2D-PSD的信号调理电路,用于高精度的激光准直系统中.该信号调理电路将激光束经光学透镜、光阑.滤光器等光学元器件处理的光信号转换为电信号后,送入数据采集系统,利用直线度测评软件直接在计算机上将被测件的直线度测量显示.系统特点是:响应速度快;位置分辨率高;能实时检测等优点.最后给出测量实验结果和几个重要结论.

关键词：横向光电效应、非线性误差、半导体光电位置敏感器件、电桥理论、激光准直系统

所属期刊栏目：35

分类号：TN929.1

资助基金：山东省教育厅资助项目J05C51

在线出版日期：2008-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：123-127