折叠式激光投影光刻物镜的设计研究

摘要：

针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求.

关键词：印制电路板(PCB)、激光投影光刻、投影物镜、光学设计

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：广东省广州市科技计划2006Z3-D0041;广东省自然科学基金07001789

在线出版日期：2007-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：46-49,102