紫外激光烧蚀铜诱导电子辐射的研究

摘要：

通过时间分辨技术对XeCl紫外激光烧蚀金属Cu过程中收集板上电荷的时间分辨测量,获取收集板电压信号的时间分辨,分析了激光烧蚀过程中电子与离子到达收集板的特征.结果表明,电子首先从靶面出射,离子紧随其后.收集板上的正、负电压信号分别由激光烧蚀金属Cu产生离子和电子发射而引起,高能电子对环境气体具有碰撞电离的作用.连续辐射的产生与持续时间和收集板上接收电子的负电压信号相对应.结合连续辐射强度的空间分布,对电子辐射的机理进行了探讨.认为电子辐射主要为韧致辐射,韧致辐射来源于近靶处高能电子与等离子体中的粒子相互作用,它是产生连续辐射的主要成因.

关键词：激光烧蚀、电子辐射、时间分辨光谱

所属期刊栏目：34

分类号：O536(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金29273130

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：69-73