基于频闪法的MEMS动静态测试系统

摘要：

为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统.该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图.使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对"冻结"不变的3D形貌.改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数.本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件.该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz.通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性.

关键词：微机电系统、特性测试、频闪成像、相对延时

所属期刊栏目：34

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：解放军总装备部预研项目

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-31,36