用于光学调整的二维纳米级微动台的设计分析

摘要：

研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台,建立了工作台的力学模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率的解析式.通过微动工作台固有频率及沿X、Y方向刚度的实验测试,验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性.有限元分析结果表明,可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数,达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法.

关键词：柔性铰链、微动工作台、固有频率、有限元分析、光学调整

所属期刊栏目：33

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2006-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：44-50