串联RF MEMS开关的结构仿真

摘要：

RF微机电系统(MEMS)开关"断"状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度.利用有限元软件HFSS对串联RF MEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了"断"状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系.结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关.其中信号线间距对微波性能影响最大,是RF MEMS开关结构设计考虑的主要因素.设计了g=3μm,d=60μm,A=80(100μm 2,w=100μm一个RF MEMS开关,在5GHz时其回波损耗小于0.2dB,隔离度大于35dB.

关键词：微机电系统、微波开关、结构仿真

所属期刊栏目：32

分类号：TN63(电子元件、组件)

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：92-95