基于散斑强度相关函数的表面粗糙度测量方法

摘要：

激光经过被测表面反射和散射后,通过自由空间传播至观察面上形成散斑图像,其统计分布依赖于被测表面的微观形貌.分析此散斑图像的二阶统计特性,导出了强度变化的相关函数和表面粗糙度参数之间的关系.以表面粗糙平均值Ra分别为0.1μm, 0.2μm, 0.4μm和0.8μm的平磨标准金属样块形成的散斑图像为例,根据强度变化相关函数的离散化定义,计算得到该相关函数值.结果表明,表面越粗糙,散斑越分散,强度变化的相关函数波动越大.因此,该参数可以反映不同的粗糙面,用其作为表征表面粗糙度的特征参数,扩大了测量范围.该方法实验系统简单,对于实际测量环境要求不高,对震动不是非常敏感,适于在线测量.

关键词：表面粗糙度测量、散斑图像、强度相关函数

所属期刊栏目：31

分类号：TH161.14

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53